[行業資訊]
半導體行業中幹式真空泵抽除顆粒物的(de)具體措施
2023-12-04
在(zài)半導體工業中使用的(de)氣體和(hé / huò)反應生成物都要(yào / yāo)通過真空泵中,這(zhè)些物質與空氣和(hé / huò)濕氣混合能形成氧化物,有些能自燃引起爆炸,因此在(zài)半導體工藝中使用的(de)真空泵要(yào / yāo)經過這(zhè)些惡劣環境的(de)考驗。一(yī / yì /yí)般來(lái)說(shuō),在(zài)真空泵中出(chū)現顆粒物有三種情況。