如果真空設備所在(zài)的(de)廠房溫度低于(yú)零度，冷卻水可能會在(zài)冷卻盤管或通道(dào)内結冰，并發生脹裂，對于(yú)這(zhè)種情況，請密切關注冷卻水的(de)進水溫度，在(zài)溫度過低時(shí)，可以(yǐ)适當調小冷卻水的(de)流量；有些冷卻塔在(zài)室外而(ér)設備在(zài)室内的(de)設備，室外的(de)管路，特别是(shì)閥門等處，非常容易結冰堵塞，這(zhè)種情況需要(yào / yāo)采取爲(wéi / wèi)室外管路纏繞防凍棉等措施，并密切關注通過設備的(de)冷卻水的(de)流量。

    油旋片泵

    在(zài)低溫下，潤滑油會變得特别粘稠，甚至發生結沙、結冰等，此時(shí)啓動旋片泵會造成電機啓動電流過大(dà)甚至燒毀、軸封撕裂損壞、聯軸器損壞甚至轉軸扭斷等故障，在(zài)5-10攝氏度啓動油旋片泵時(shí)，可以(yǐ)采取點動的(de)方式給電幾次後再讓其連續運轉；一(yī / yì ／yí)定要(yào / yāo)避免在(zài)低于(yú)5攝氏度的(de)環境直接啓動油旋片泵，如果需要(yào / yāo)在(zài)低溫下間歇的(de)使用，可以(yǐ)讓其持續運行以(yǐ)避免低溫啓動；也(yě)可以(yǐ)把泵放在(zài)溫度比較高的(de)室内一(yī / yì ／yí)段時(shí)間後，啓動并開啓氣鎮運行半個(gè)小時(shí)以(yǐ)上(shàng)，然後再轉移到(dào)室外并立即啓動。

    羅茨泵螺杆泵

    羅茨泵、螺杆泵等真空泵一(yī / yì ／yí)般采用甩油盤把油箱内的(de)油甩到(dào)齒輪等處用于(yú)潤滑，低溫下油比較粘稠，強行啓動會造成電機啓動電流過大(dà)、軸封撕裂損壞等故障，即使能正常啓動，在(zài)油溫足夠高之(zhī)前，甩油盤無法将足量的(de)油甩到(dào)齒輪，容易造成齒輪過度磨損，甚至因急劇發熱而(ér)卡死。

    渦旋幹泵

    渦旋幹泵一(yī / yì ／yí)般采取幹式潤滑的(de)軸承，雖然不(bù)太明顯，溫度過低時(shí)啓動仍然會有短時(shí)潤滑不(bù)良、啓動電流過大(dà)的(de)問題。另外，渦旋幹泵裝配精度很高，因爲(wéi / wèi)其工作時(shí)動盤和(hé / huò)靜盤上(shàng)的(de)渦旋線需要(yào / yāo)始終保持一(yī / yì ／yí)個(gè)很小的(de)間隙；在(zài)超出(chū)要(yào / yāo)求的(de)低溫條件下，内部的(de)間隙有可能會低于(yú)正常值，從而(ér)造成異響甚至摩擦損傷。

    分子(zǐ)泵

    在(zài)低溫下，分子(zǐ)泵的(de)潤滑油或潤滑劑具有很高的(de)粘度（低潤滑作用），可能導緻軸承潤滑不(bù)良和(hé / huò)分子(zǐ)泵啓動電流過大(dà)。即使泵看起來(lái)啓動正常，也(yě)可能會對軸承造成一(yī / yì ／yí)定的(de)損傷，長期來(lái)看，這(zhè)将影響泵的(de)可靠性。分子(zǐ)泵允許的(de)最低工作溫度一(yī / yì ／yí)般是(shì)5攝氏度，在(zài)環境溫度低于(yú)5攝氏度時(shí)，需要(yào / yāo)采取一(yī / yì ／yí)定的(de)加溫措施，并最好采用軟啓動。

    檢漏儀

    如上(shàng)所述，檢漏儀内部的(de)油旋片泵或幹泵、分子(zǐ)泵等都不(bù)能在(zài)低溫下啓動，好多的(de)檢漏儀也(yě)都在(zài)内部集成了(le／liǎo)溫度傳感器，在(zài)溫度低于(yú)5度時(shí)将無法啓動，從而(ér)保護檢漏儀。如果需要(yào / yāo)在(zài)溫度較低的(de)環境使用檢漏儀，可以(yǐ)在(zài)室内溫度比較高的(de)環境下啓動，工作半個(gè)小時(shí)以(yǐ)上(shàng)再轉移到(dào)室外并立即啓動，如果工作環境的(de)溫度非常低，還可以(yǐ)采取包覆保溫棉等保溫措施。

    控制器等電子(zǐ)設備

    真空計控制器、真空泵控制器及檢漏儀内部很多的(de)電子(zǐ)器件也(yě)無法承受低溫，低溫下通電會出(chū)現故障，這(zhè)些設備建議不(bù)要(yào / yāo)在(zài)低溫下使用，已經在(zài)使用的(de)，盡量不(bù)要(yào / yāo)關機。