核心觀點：

真空泵是(shì)制造業重要(yào / yāo)的(de)通用設備，半導體應用占據最大(dà)份額，光伏高增長。真空系統是(shì)用來(lái)獲得真空環境的(de)系 統，是(shì)半導體、科學儀器、化工、制藥行業重要(yào / yāo)的(de)子(zǐ)系統，應用廣泛。真空泵是(shì)真空系統重要(yào / yāo)的(de)組成部分，是(shì) 用來(lái)産生、改善和(hé / huò)維持真空環境的(de)裝置。根據 ISVT，2019 年全球真空設備的(de)市場規模約 350 億元，其中半導 體用真空設備約 135 億元，占比約 38%，是(shì)最大(dà)的(de)應用領域，此外光伏領域的(de)真空泵需求正快速增長。

半導體行業存量真空泵的(de)更新占據較大(dà)比例，保證需求穩定增長。根據我們測算，2019 年全球半導體真空泵的(de) 設備與服務需求市場規模約 130 億元，參考 IC sights 對全球晶圓産能的(de)預測，預計到(dào) 2025 年市場規模可達到(dào) 217 億元，複合增占率約 9%，保持溫和(hé / huò)增長，其中存量真空泵的(de)更新占到(dào)整個(gè)設備市場的(de) 60~70%，龐大(dà)的(de)存 量市場保證了(le／liǎo)半導體真空泵的(de)穩定需求，減小了(le／liǎo)行業的(de)波動性。根據我們測算，2019 年我國(guó)半導體真空泵的(de)設 備與服務需求規模約 31 億元，2025 年預計可達到(dào) 57 億元，維持穩定增長。

太陽能(5.510, 0.08, 1.47%)電池矽片、電池片、組件等環節大(dà)幅擴産，光伏真空泵市場規模快速擴張。太陽能發電成本不(bù)斷降低， 需求進入上(shàng)升期，根據矽業協會和(hé / huò)我們的(de)統計，預計矽片/電池片/組件等各環節 2021 年擴産規模均在(zài) 100GW 以(yǐ)上(shàng)，拉晶、鍍膜、層壓等環節對真空泵均有需求，下遊的(de)大(dà)幅擴産預計将帶動光伏行業真空泵市場規模的(de)快 速增長。同時(shí)，光伏行業現在(zài)面臨 PERC+/TOPCon/HJT 等技術路線的(de)分歧，設備降本對技術路線影響較大(dà)， 設備降本的(de)需求有利于(yú)進一(yī / yì ／yí)步推進真空泵的(de)國(guó)産化進程。根據我們的(de)測算，2019 年我國(guó)光伏行業對真空泵的(de)設 備與服務需求規模約 21.7 億元，預計至 2022 年可增至 55.5 億元，複合年增長率達 36%。

行業高度集中，國(guó)内企業在(zài)光伏/半導體領域真空泵已實現國(guó)産突破。全球半導體真空泵市場主要(yào / yāo)由 Edwards、 Kashiyama、Ebara 等少數幾家國(guó)際知名公司占據，2019 年 Atlas 真空部門的(de)收入約 26.9 億美元，當年在(zài)真空 領域的(de)市占率約 53%，處于(yú)絕對領先地(dì / de)位。國(guó)内以(yǐ)漢鍾精機(21.190, 0.38, 1.83%)、中科儀爲(wéi / wèi)代表的(de)國(guó)内半導體真空泵優秀企業已逐 步實現國(guó)産替代。漢鍾精機 2019 年公司總收入 18.07 億元，其中真空産品收入 3.69 億元，占總收入的(de) 20.43%， 根據公司的(de)業績快報，2020 年營收總收入 22.73 億元，同比增加 25.78%，維持高增速，目前公司的(de)真空産品 主要(yào / yāo)應用在(zài)光伏領域，根據公司 2019 年年報，公司幹式真空泵在(zài)國(guó)内半導體及一(yī / yì ／yí)線大(dà)廠及設備廠都已導入。根據中科儀的(de)招股說(shuō)明書，公司真空泵已進入隆基、晶盛、長江存儲等光伏和(hé / huò)半導體頭部客戶，産品力獲認可， 2019 年公司銷售真空幹泵 2546 台，銷售收入 1.57 億元，同比增加 97.8%。

一(yī / yì ／yí)、真空泵：重要(yào / yāo)通用設備，半導體應用占據主要(yào / yāo)份額

真空泵：真空系統的(de)心髒，應用領域廣泛。真空泵是(shì)根據一(yī / yì ／yí)定的(de)工作原理，用來(lái)産 生、改善和(hé / huò)維持真空環境的(de)裝置，是(shì)直接影響到(dào)真空成套設備性能質量的(de)必不(bù)可少 的(de)産品。真空泵廣泛應用于(yú)制藥、化工、食品、電子(zǐ)等下遊行業，需求量大(dà)面廣。

通常真空範圍可劃分三個(gè)等級：（1）粗低真空（Low or Rough Vacuum,LV），氣 壓在(zài)760至10-3Torr，主要(yào / yāo)适用于(yú)食品、化工、輕工、制藥行業等；（2）高真空（High Vacuum，HV），氣壓在(zài)10-3至10-8Torr，主要(yào / yāo)适用于(yú)集成電路、半導體制造以(yǐ)及各 種鍍膜工藝、各種表面加工工藝、離子(zǐ)注入等等；（3）超高真空（Ultra-High Vacuum， UHV），氣壓在(zài)10-8至10-12Torr，主要(yào / yāo)适用于(yú)材料科學分析、物理現象研究、表面分 析高純材料制備等等。

真空泵從高/超真空到(dào)粗/低真空，其産品大(dà)緻可分14大(dà)類：（1）高/超真空----低溫泵、 分子(zǐ)泵、濺射離子(zǐ)泵、钛升華泵、擴散泵。（2）中真空----幹泵、雙級旋片泵、羅茨 泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。（3）粗/低真空----單級旋片泵、滑閥泵、液環泵、 往複式真空泵。也(yě)可根據氣體傳輸的(de)原理、工組原理、結構特點等進行分類，從原理上(shàng)來(lái)說(shuō)，主要(yào / yāo)分 爲(wéi / wèi)變容式與動量式兩種，根據結構特點可分爲(wéi / wèi)往複式、旋轉式、牽引式等，不(bù)同的(de)密 封方式、結構特點決定了(le／liǎo)不(bù)同的(de)真空應用範圍。

真空泵從高/超真空到(dào)粗/低真空，其産品大(dà)緻可分14大(dà)類：（1）高/超真空----低溫泵、 分子(zǐ)泵、濺射離子(zǐ)泵、钛升華泵、擴散泵。（2）中真空----幹泵、雙級旋片泵、羅茨 泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。（3）粗/低真空----單級旋片泵、滑閥泵、液環泵、 往複式真空泵。也(yě)可根據氣體傳輸的(de)原理、工組原理、結構特點等進行分類，從原理上(shàng)來(lái)說(shuō)，主要(yào / yāo)分 爲(wéi / wèi)變容式與動量式兩種，根據結構特點可分爲(wéi / wèi)往複式、旋轉式、牽引式等，不(bù)同的(de)密 封方式、結構特點決定了(le／liǎo)不(bù)同的(de)真空應用範圍。

二、半導體真空泵：百億級産業，需求穩中向上(shàng)

（一(yī / yì ／yí)）應用在(zài)半導體制造多個(gè)工藝環節

真空泵應用于(yú)單晶矽制造、晶圓加工等多個(gè)環節。在(zài)半導體産業剛起步的(de)時(shí)候，僅 有兩種處理工藝需要(yào / yāo)用到(dào)真空腔。一(yī / yì ／yí)種是(shì)隻有一(yī / yì ／yí)層金屬的(de)蒸鋁工藝，另一(yī / yì ／yí)種是(shì)在(zài)矽 片背面蒸金以(yǐ)便将電路芯片固定在(zài)它的(de)管殼上(shàng)，那時(shí)的(de)真空工藝是(shì)在(zài)類似鍾罩的(de)腔 内進行的(de)。當前，半導體制造過程中的(de)許多化學反應都是(shì)在(zài)真空條件下進行的(de)，使 用工藝腔來(lái)實現受控的(de)真空環境。從20世紀80年代後期，工藝腔被構造爲(wéi / wèi)多腔集成設備。矽片在(zài)真空環境下從一(yī / yì ／yí)個(gè)工藝腔傳送至另一(yī / yì ／yí)個(gè)工藝腔，避免了(le／liǎo)矽片的(de)原始氧 化并減少了(le／liǎo)污染。

半導體工業是(shì)真空泵非常重要(yào / yāo)的(de)應用領域，是(shì)當前主要(yào / yāo)的(de)增長動力。目前真空泵已 經廣泛應用在(zài)半導體制造的(de)多個(gè)工藝環節中，包括刻蝕、鍍膜、擴散等等。爲(wéi / wèi)了(le／liǎo)将制 造過程控制在(zài)更小的(de)尺寸上(shàng)，越來(lái)越需要(yào / yāo)以(yǐ)更高的(de)精度和(hé / huò)均勻性執行更多的(de)半導體 制造過程步驟。爲(wéi / wèi)了(le／liǎo)實現這(zhè)一(yī / yì ／yí)點，半導體工藝必須在(zài)極度受控的(de)真空環境中運行。随着功能和(hé / huò)電路尺寸的(de)減小，半導體制造中的(de)工藝步驟數量将繼續增加，從而(ér)導緻 真空設備需求的(de)增加。此外，小型化還需要(yào / yāo)新的(de)制造技術，如多模和(hé / huò)EUV光刻技術， 這(zhè)将進一(yī / yì ／yí)步推動半導體制造商采用真空系統。

半導體制造中主要(yào / yāo)應用的(de)真空泵類型包括幹式真空泵以(yǐ)及渦輪分子(zǐ)泵。較早時(shí)，油 式真空泵是(shì)半導體行業中常用的(de)真空泵種類，目前幹泵成爲(wéi / wèi)了(le／liǎo)半導體行業最主要(yào / yāo)的(de) 真空泵類型。與基于(yú)液體的(de)水環泵、油封泵和(hé / huò)蒸汽噴射系統相比，幹泵設備除了(le／liǎo)能 提高速度、工藝可重複性、靈活性和(hé / huò)生産率之(zhī)外，還能夠顯著節省運營成本、維護成 本和(hé / huò)安裝空間。幹泵設備的(de)關鍵優勢，不(bù)使用水或油來(lái)進行真空階段的(de)密封或者潤 滑，因爲(wéi / wèi)設備的(de)運行成本非常經濟，可讓用戶優化真空工藝。另外，幹泵消除了(le／liǎo)工藝 過程污染油或油搭載進入尾氣處理系統的(de)風險，他(tā)們不(bù)會産生廢物、或者污染寶貴 的(de)溶劑、産品或環境。

幹式泵是(shì)一(yī / yì ／yí)種無油的(de)泵送機構，用于(yú)創造真空環境。它們在(zài)真空抽氣機構内不(bù)使用 潤滑劑，并有一(yī / yì ／yí)系列的(de)監測和(hé / huò)控制選項。幹泵廣泛應用于(yú)半導體領域，也(yě)應用于(yú)冶 金、塗料、幹燥、太陽能等工業過程。它們也(yě)用于(yú)科學儀器，如掃描電子(zǐ)顯微鏡。

在(zài)渦輪分子(zǐ)泵或渦輪泵中，渦輪轉子(zǐ)快速旋轉産生真空。渦輪泵的(de)主要(yào / yāo)特點是(shì)轉速 高。渦輪泵通常與主濕泵或幹泵一(yī / yì ／yí)起使用。它們通常用于(yú)半導體應用和(hé / huò)研發、工業 應用和(hé / huò)高能物理。

在(zài)刻蝕和(hé / huò)薄膜沉積設備中通常使用幹泵+渦輪分子(zǐ)泵，将大(dà)氣抽至一(yī / yì ／yí)定真空使得符合 工藝的(de)需求。由于(yú)幹泵抽真空的(de)能力有限，需要(yào / yāo)配上(shàng)渦輪分子(zǐ)泵将環境抽至高真空。根據Edwards官網，一(yī / yì ／yí)個(gè)月産4萬片的(de)晶圓廠，需要(yào / yāo)1000個(gè)減排系統，2000個(gè)幹泵， 以(yǐ)及至少500個(gè)渦輪分子(zǐ)泵。其中幹泵和(hé / huò)減排系統直接出(chū)售給鑄造廠和(hé / huò)集成設備制造 商，供其在(zài)制造過程中使用，渦輪分子(zǐ)泵直接出(chū)售給設備制造商，以(yǐ)便集成到(dào)其工 藝工具中。

（二）百億級産業，存量市場奠定需求穩中向上(shàng)

半導體真空市場規模占同期半導體設備銷售額的(de)3%~4%。根據SEMI（國(guó)際半導體 設備與材料協會），2017-2020年全球半導體設備市場銷售額566/645/598/689億美 元，結合前文提到(dào)的(de)半導體真空市場規模（2017-2019年約19/20/21億美元），真空 泵占同期半導體設備銷售額的(de)3%~4%。真空泵還需要(yào / yāo)定期維護，服務市場也(yě)是(shì)重要(yào / yāo) 的(de)一(yī / yì ／yí)部分，例如Altas真空部門每年服務收入占到(dào)該部門收入的(de)25%。根據Edwards， 公司的(de)大(dà)多數真空泵的(de)使用壽命在(zài)10年到(dào)20年之(zhī)間，并在(zài)這(zhè)段時(shí)間内經曆4到(dào)10次 預定的(de)再制造過程。對于(yú)某些客戶，真空泵和(hé / huò)減排系統每天24小時(shí)、每周7天運行， 因此除了(le／liǎo)再制造外，還需要(yào / yāo)定期維護。我們估計，用于(yú)超清潔環境的(de)幹泵通常需要(yào / yāo) 每4至5年維修一(yī / yì ／yí)次，但建議在(zài)更嚴格的(de)工藝下運行的(de)泵每三個(gè)月進行一(yī / yì ／yí)次維修。

進一(yī / yì ／yí)步地(dì / de)，我們按照每年新增晶圓産能和(hé / huò)目前裝機産能測算了(le／liǎo)全球半導體真空泵每 年增量需求與更新需求。

參考Edward的(de)數據，我們的(de)測算包含了(le／liǎo)以(yǐ)下關鍵假設：

（1）假設每月4萬片産能的(de)12寸晶圓産線需要(yào / yāo)幹式真空泵2000台，渦輪分子(zǐ)泵500 台；（2）平均更新年限假定爲(wéi / wèi)10年（每年更換存量真空泵的(de)10%）；（3）半導體 用幹式真空泵價格假定15萬元/台，分子(zǐ)泵假定12萬元/台；（4）服務市場爲(wéi / wèi)總需求 規模的(de)25%，即爲(wéi / wèi)設備需求1/3。（2019年Altas真空部門服務收入占總收入的(de)25%）。（5）2025年的(de)裝機預測取IC Insights的(de)估計值，2021-2025年我們根據2025年的(de)裝 機預測做了(le／liǎo)平滑處理。

測算結果如下：

（1）存量需求占據主導，支撐需求穩中向上(shàng)。根據測算，存量真空泵的(de)更新與服務 市場占整個(gè)設備市場的(de)60%~70%左右，龐大(dà)的(de)存量市場保證了(le／liǎo)半導體真空泵的(de)穩定 需求。

（2）預計2025年全球半導體領域真空泵市場需求超過200億。根據IC Insights，2020 年全球裝機産能合計923.11萬片/月（折算成12寸晶圓，下同），預計到(dào)2025年全球 裝機産能1252萬片。據此測算，2019年半導體真空泵的(de)設備與服務需求約130億元， 與ISVT的(de)估計相近。預計到(dào)2025年全球半導體真空泵的(de)設備與服務需求達到(dào)217億 元，其中設備需求約162億元，服務需求約54億元。

遵循同樣的(de)思路，并對國(guó)内裝機的(de)全球占比作出(chū)假設，我們可以(yǐ)對國(guó)内的(de)半導體真 空泵市場規模進行測算，并假設國(guó)内裝機占全球裝機的(de)比例逐漸上(shàng)升。

根據測算，2021-2025年國(guó)内半導體真空泵設備的(de)市場空間分别爲(wéi / wèi)33/32/35/39/43億 元；加上(shàng)服務的(de)需求，則同時(shí)期設備及服務的(de)總需求爲(wéi / wèi)44/43/47/52/57億元，未來(lái)5 年複合增長率爲(wéi / wèi)7.5%，保持穩定增長。

三、光伏真空泵：下遊擴産積極，需求快速擴張

（一(yī / yì ／yí)）光伏行業：碳中和(hé / huò)目标下，需求确定性強

太陽能組件價格大(dà)幅下降，帶動光伏電站投資成本下降，經濟性顯現。根據CPIA的(de) 數據，太陽能電池組件的(de)價格從2007年的(de)約36元/W降低到(dào)2020年的(de)1.57元/W，下 降幅度達95.6%，帶動光伏電站投資的(de)系統成本從60元/W左右下降到(dào)3.99元/W。由 于(yú)各國(guó)的(de)電價不(bù)同，随着光伏發電成本的(de)不(bù)斷下降，在(zài)不(bù)同地(dì / de)區陸續實現平價上(shàng)網， 2020年中青海海南州的(de)競價項目中标電價爲(wéi / wèi)0.2427元/W已經低于(yú)當地(dì / de)的(de)煤電上(shàng)網 電價，光伏發電的(de)經濟性逐漸顯現。

碳中和(hé / huò)目标下，光伏裝機需求确定性強。2020年9月，我國(guó)在(zài)聯合國(guó)大(dà)會一(yī / yì ／yí)般性辯論 中宣布二氧化碳排放力争在(zài)2030年前達峰，努力在(zài)2060年實現碳中和(hé / huò)，歐洲美國(guó)等 均提出(chū)了(le／liǎo)各自的(de)減能減排政策。在(zài)經濟性與政策的(de)雙重驅動下，光伏發電新增裝機 預計将迎來(lái)較快增長，根據CPIA的(de)預測，2021年國(guó)内新增裝機在(zài)55-65GW，全球裝 機規模在(zài)150-170GW，十四五期間，國(guó)内年均新增裝機70-90GW，全球年均新增裝 機210-260GW。

（二）真空泵：受益下遊積極擴産，需求快速擴張

太陽能電池的(de)若幹生産過程與半導體類似，包括拉晶、鍍膜等，也(yě)會用到(dào)幹式真空 泵。幹式真空泵可用于(yú)光伏産業鏈中矽片的(de)拉晶環節、電池片的(de)鈍化鍍膜環節 （PECVD/ALD設備）、組件的(de)層壓環節等。根據捷佳偉創(71.180, 0.88, 1.25%)的(de)招股說(shuō)明書，以(yǐ)其PECVD 設備爲(wéi / wèi)例，幹式真空泵爲(wéi / wèi)PECVD設備中成本占比最大(dà)的(de)零部件， 2015-2017年，幹 式真空泵在(zài)PECVD設備中的(de)價值量占比爲(wéi / wèi)11.4%/12.2%/12.7%。

根據中科儀的(de)招股說(shuō)明書，晶體生長和(hé / huò)矽片生産每GW需要(yào / yāo)約200台幹式真空泵，單 價約7萬元，同時(shí)假設真空泵的(de)受用壽命爲(wéi / wèi)10年，每台真空泵每年需要(yào / yāo)的(de)維保費用爲(wéi / wèi) 3萬元。由此我們可以(yǐ)估計矽片環節對真空泵設備的(de)需求規模。

2020-2022年矽片環節對真空泵的(de)設備與維保需求規模約22.6/28.6/35.6億元。繼續 沿用上(shàng)文的(de)矽片擴産數據，我們可以(yǐ)得到(dào)2020-2022年拉晶環節對真空泵的(de)新增設 備需求規模約12.7/13.3/14.5億元，與上(shàng)文通過價值量計算的(de)市場規模相似，考慮存 量真空泵的(de)更新與真空泵的(de)維保費用之(zhī)後，同時(shí)期設備與維保的(de)市場規模約 22.6/28.6/35.6億元，複合增長率約25.5%，維持高速增長狀态。

通過假設國(guó)内與全球的(de)新增裝機規模、PERC+/HJT等不(bù)同技術路線的(de)産能占比以(yǐ)及 鍍膜設備在(zài)不(bù)同技術路線中的(de)價值量占比等（由于(yú)技術路線叠代變化，近年電池片 環節設備更新較快，故未考慮真空泵的(de)存量更新），我們可以(yǐ)測算電池片環節的(de)真 空泵需求規模。

2020-2022年電池片環節（PECVD、ALD等鍍膜設備）對真空泵的(de)設備需求規模約 6.5/9.8/11.7億元，同期組件環節（層壓設備）對真空泵的(de)需求規模約0.8/1.2/1.2億 元，加上(shàng)矽片環節的(de)設備需求，整個(gè)光伏行業對真空泵的(de)設備需求爲(wéi / wèi)21.7/27.0/31.2 億元，再加上(shàng)服務維保市場，光伏行業對真空泵的(de)設備與服務需求規模約 33.5/45.0/55.5億元，複合增長率28.7%，保持高速增長。

（三）國(guó)産替代正當時(shí)，有望持續深入

降本貫穿于(yú)太陽能電池的(de)整個(gè)發展過程，設備降本是(shì)其中的(de)重要(yào / yāo)一(yī / yì ／yí)環。前文已經提 到(dào)組件價格的(de)大(dà)幅下降，與之(zhī)同時(shí)發生的(de)則是(shì)随着設備的(de)國(guó)産化與産能的(de)逐步上(shàng)升， 設備投資額的(de)大(dà)幅度下降，根據CPIA的(de)數據，PERC産線從2016年的(de)6億元/GW降低 到(dào)2020年的(de)2.25億/GW，下降幅度達62.5%，2020年TOPCon的(de)産線投資額爲(wéi / wèi)2.7億 元/GW，HJT的(de)産線投資額爲(wéi / wèi)4.5-5.5億/GW，在(zài)PERC+/TOPCon/HJT等多種技術路 線并行、競争焦灼的(de)現階段，設備投資額将是(shì)決定技術路線走向的(de)重要(yào / yāo)一(yī / yì ／yí)環，而(ér)将 若幹零部件國(guó)産化将會是(shì)設備降本的(de)一(yī / yì ／yí)個(gè)有效驅動因素。

國(guó)産替代趨勢下，國(guó)産真空泵行業将受益。以(yǐ)電池片設備龍頭廠商捷佳偉創爲(wéi / wèi)例， 出(chū)于(yú)配合電池片廠商降本以(yǐ)及保持市場份額的(de)需要(yào / yāo)，近年捷佳的(de)PECVD設備均價與 毛利率一(yī / yì ／yí)直在(zài)下降。出(chū)于(yú)降本與提高利潤率的(de)需要(yào / yāo)，以(yǐ)捷佳爲(wéi / wèi)代表的(de)電池片設備廠 商完全有動力切入到(dào)國(guó)産真空泵。而(ér)根據據捷佳的(de)招股說(shuō)明書，捷佳的(de)幹式真空泵 主要(yào / yāo)來(lái)自于(yú)Pfeiffer Vacuum SAS（德國(guó)普發），根據漢鍾2021年1月在(zài)投資者問答 平台上(shàng)對投資者的(de)答複，漢鍾的(de)真空産品已經供貨捷佳偉創。

四、行業高度集中，龍頭深耕真空領域

（一(yī / yì ／yí)）全球半導體真空泵行業高度集中

全球真空領域的(de)主要(yào / yāo)公司有Edwards（英國(guó)，被Atlas收購）、Pfeiffer Vacuum（普 發，德國(guó)）、Ebara（荏原，日本）、Kashiyama（堅山工業，日本）等，其中Atlas、 Pfeiffer、Ebara均爲(wéi / wèi)上(shàng)市公司，2020年Atlas營收約109億美元，Eraba約49億美元， Pfeiffer還未披露2020年财務數據，2019年營收約7.9億美元，這(zhè)幾家龍頭公司均爲(wéi / wèi) 成立多年的(de)百年企業，在(zài)激烈的(de)行業競争中脫穎而(ér)出(chū)，技術實力雄厚。

以(yǐ)2019年爲(wéi / wèi)例，以(yǐ)Atlas真空部門的(de)收入約26.9億美元、Pfeiffer Vacuum公司收入約 7.1億美元作爲(wéi / wèi)兩大(dà)公司真空收入的(de)近似，同年全球真空市場規模45.4億歐元（約51 億美元），我們可以(yǐ)得到(dào)Atlas的(de)市占率約53%，處于(yú)絕對龍頭，Pfeiffer市占率約13.9% （因爲(wéi / wèi)包含其他(tā)業務，略有高估），全球真空市場集中度較高，龍頭市占率領先。

（二）Edwards/Atlas：真空領域絕對龍頭，産品布局全面

Atlas（阿特拉斯·科普柯，瑞典）成立于(yú)1873年，以(yǐ)鐵路設備起家，後陸續切入氣 動工具、壓縮機、船用發動機、柴油機等，經過不(bù)斷的(de)兼并與剝離，目前集團有4塊 業務，分别是(shì)真空業務、壓縮技術、工業技術、動力技術。

真空業務（Vacuum Technique）提供真空産品、排氣管理系統、閥門以(yǐ)及其他(tā)相關 産品，具體産品包括：（1）油封旋片真空泵；（2）幹式真空泵；（3）渦輪分子(zǐ)泵；（4）液環真空泵；（5）減排和(hé / huò)綜合系統；（6）低溫泵等；可用于(yú)半導體、平闆顯 示、LED、太陽能、光學塗層、科學研究等行業，與ISTV的(de)定義基本相同；除去設 備之(zhī)外，這(zhè)部分還包括減排系統、設備監控、現場服務、備件、潤滑油等。

2020年Atlas收入約108.8億美元，其中真空部門收入約27億美元，占比24.7%，真空 部門近三年的(de)複合增長率約5.6%，營業利潤率介于(yú)22%~25%之(zhī)間。

以(yǐ)2019年爲(wéi / wèi)例，Atlas的(de)真空部門收入構成有3個(gè)維度可進行拆分，從區域來(lái)看，以(yǐ) 來(lái)自亞洲和(hé / huò)大(dà)洋洲的(de)收入爲(wéi / wèi)主，占比達到(dào)58%，其次爲(wéi / wèi)北美（25%），歐洲（15%）， 非洲/中東地(dì / de)區（2%）。分應用領域來(lái)看，電子(zǐ)行業收入占比達到(dào)65%，通用制造業 和(hé / huò)加工工業分别占比18%、13%。

以(yǐ)2019年爲(wéi / wèi)例，從服務占比來(lái)看，真空部門服務占比25%，壓縮技術部門占比43%， 工業技術部門服務占比28%，動力技術占比42%，可以(yǐ)看出(chū)在(zài)這(zhè)個(gè)行業服務占比非 常重要(yào / yāo)，而(ér)真空部門的(de)服務收入占比最低，估計爲(wéi / wèi)真空部門的(de)設備價值量較高所緻。

Atlas在(zài)真空領域進行布局，持續收購公司。繼2014年收購Edwards，Atlas于(yú)2016 年收購了(le／liǎo)另一(yī / yì ／yí)家真空技術領域的(de)領導者德國(guó)leybold（萊寶），并于(yú)2017年單獨設立 真空技術部門，2019年7月Atlas收購了(le／liǎo)Brooks（布魯克斯）的(de)低溫業務，此次收購 包括低溫泵運營公司、以(yǐ)及Brooks在(zài)愛發科低溫真空（Ulvac Cryogenics）有限公司 50%的(de)股份，進一(yī / yì ／yí)步增強了(le／liǎo)其真空業務的(de)全球競争力。

Edwards是(shì)真空領域和(hé / huò)減排系統的(de)全球領導者，擁有100多年的(de)悠久曆史，1919年成 立，以(yǐ)真空設備起家，1975年就(jiù)已經覆蓋全球75個(gè)國(guó)家，公司發展比較關鍵的(de)節點 是(shì)1984年推出(chū)了(le／liǎo)無油幹泵，2014年被Atlas收購。産品的(de)應用領域主要(yào / yāo)有分析儀器（電 子(zǐ)顯微鏡、質譜儀、實驗室等）、化工、食品加工、研究機構、發電解決方案、工業 解決方案、半導體、平闆顯示、可再生能源（太陽能、LED照明、儲能等）。

從公司的(de)産品發展曆程來(lái)看，随着半導體技術的(de)不(bù)斷發展，公司的(de)真空泵随之(zhī)不(bù)斷 進步，一(yī / yì ／yí)個(gè)是(shì)技術上(shàng)，不(bù)斷的(de)進行技術開發以(yǐ)符合下遊客戶的(de)需求，産品呈系列化， 另一(yī / yì ／yí)個(gè)是(shì)能耗上(shàng)的(de)不(bù)斷降低（半導體行業爲(wéi / wèi)用電大(dà)戶），爲(wéi / wèi)客戶創造收益。

2014年Edwards營業收入約7億英鎊。分部門收入結構，以(yǐ)2012年爲(wéi / wèi)例，半導體真空 泵占比37.3%、通用真空泵占比28.4%、新興技術領域真空泵占比7.0%，另外服務收 入占比達到(dào)27.3%。公司在(zài)半導體領域的(de)客戶包括晶圓廠以(yǐ)及半導體設備商。2010- 2012年公司最大(dà)客戶是(shì)三星，收入占比分别達到(dào)15.1%、13.6%、13.4%。

從收入規模看（由于(yú)14年被收購，僅能獲得截止2014年數據），Edwards收入增長 與半導體設備市場規模的(de)增長非常一(yī / yì ／yí)緻，收入增長的(de)最大(dà)動力來(lái)自于(yú)半導體領域。在(zài)上(shàng)一(yī / yì ／yí)輪半導體設備行業的(de)頂點2011年，Edwards的(de)收入最高達到(dào)7.0億英鎊，當年 毛利率36.8%，淨利潤0.52億英鎊。而(ér)受益此輪半導體行業景氣周期，2020年Atlas 的(de)真空技術部門收入達到(dào)約21.1億英鎊，其中主要(yào / yāo)的(de)收購僅在(zài)2016年。

（三）PfeifferVacuum：渦輪分子(zǐ)泵開創者，緻力于(yú)真空領域

公司于(yú)1890年成立，以(yǐ)電燈泡的(de)真空設備起家，1951年開發了(le／liǎo)用于(yú)核工業的(de)真空泵， 從此公司真空泵業務開始向多領域擴張，1958年公司發明并推出(chū)分子(zǐ)泵，1985年發 明分流渦輪分子(zǐ)泵， 2010年兼并了(le／liǎo)阿爾卡特朗訊的(de)真空技術部門“adixen”，2019 年10月公司在(zài)我國(guó)江蘇無錫建廠，爲(wéi / wèi)真空領域的(de)領先企業。

公司的(de)産品組合包括真空産生、測量與分析、安裝工具、真空系統、真空單元、撿漏 設備等，可以(yǐ)提供各種複雜的(de)真空系統解決方案。

公司産品系列齊全，可爲(wéi / wèi)不(bù)同制程要(yào / yāo)求提供産品組合。以(yǐ)半導體的(de)PVD（物理氣相 沉積）爲(wéi / wèi)例，要(yào / yāo)求在(zài)10-3 至 10-7 Torr範圍的(de)高真空範圍内運行，需使用幹式粗抽泵、 渦輪泵以(yǐ)及低溫泵，普發提供的(de)A4H系列是(shì)專用于(yú) PVD 應用的(de)全系列幹式泵和(hé / huò)磁 懸浮渦輪泵，ATH M渦輪泵也(yě)已獲得許多OEM客戶的(de)認證。

2015-2019年，普發的(de)收入從5.01億美元增長到(dào)2019年的(de)7.1億美元，複合增長率 9.0%，2018年曾經達到(dào)7.8億美元，2019年受半導體行業投資不(bù)景氣收入有所下滑， 同期營業利潤從6501萬美元增長到(dào)7274萬美元，營業利潤率在(zài)13%左右，2018年最 高達到(dào)14.6%。

從收入的(de)拆分來(lái)看：

（1）按産品拉看，絕大(dà)部分爲(wéi / wèi)真空産品，公司産品分爲(wéi / wèi)Turbopumps（渦輪泵，針 對高真空和(hé / huò)超高真空）、Instruments and components（儀器部件）、Backing pumps （支撐泵，針對低真空和(hé / huò)中真空）、Service（服務，培訓、備品備件等）、Systems （系統，針對多級真空等）。2015-2019年，各産品的(de)占比均有所變化，渦輪泵從32.1%下降到(dào)29.2%，支撐泵從22.7%下降到(dào)19.6%，儀器部件從21.9%上(shàng)升到(dào)30.3%，真 空系統從2.0%上(shàng)升到(dào)3.1%，除去儀器部件占比大(dà)幅上(shàng)升外，其餘部分均保持相對穩 定狀态。

（2）按下遊應用領域，與ISTV的(de)分類類似，公司将客戶分爲(wéi / wèi)半導體（主要(yào / yāo)使用中大(dà) 型支撐泵、渦輪分子(zǐ)泵、測量儀器）、工業（用于(yú)電動車、太陽能熱發電、冶金、空 調制冷等）、分析測試（掃描電子(zǐ)顯微鏡等）、科研（泵、質譜儀、檢漏儀等，用于(yú) 研究所等）、塗層（平面顯示、紡織、OLED、LED、太陽能電池等）。半導體爲(wéi / wèi)其 中最大(dà)的(de)部分，2015年到(dào)2019年，半導體行業的(de)收入占比從31.0%上(shàng)升到(dào)35.2%， 最高達38.4%，工業應用從25.5%下降到(dào)23.6%，分析測試從20.3%下降到(dào)18.7%， 科研行業從10.9%上(shàng)升到(dào)11.9%，期間最高達到(dào)過15.1%（2018年），塗層部分從12.3% 下降到(dào)10.5%。

（四）Ebara：日本百年企業，幹式真空泵積累深厚

Ebara成立于(yú)1912年，目前旗下有3塊業務，分别是(shì)：（1）流體機械及系統，主要(yào / yāo)包 括泵、壓縮機、渦輪機、鼓風機等，主要(yào / yāo)用于(yú)石油、天然氣、液化天然氣等；（2） 環境工程，包括市政垃圾焚燒廠、工業垃圾焚燒廠、水處理廠等；（3）精密器械， 包括幹式真空泵、CMP（化學機械抛光）設備、電鍍設備及排氣處理設備，主要(yào / yāo)用 于(yú)半導體、平闆顯示、LED和(hé / huò)太陽能電池等領域。根據公司的(de)介紹文件，公司在(zài)液化 天然氣泵領域全球市占率第一(yī / yì ／yí)，在(zài)CMP系統和(hé / huò)幹泵領域全球市占率第二。公司2020 年營業收入約49.1億美元，流體機械及系統部門占約60%，精密器械部門占約27%， 環境工程部門占約13%。

從公司的(de)發展曆程來(lái)看，可分爲(wéi / wèi)以(yǐ)下幾個(gè)階段：（1）1912~1944年，主要(yào / yāo)緻力于(yú)水 利基礎設施；（2）1945~1980年，趁着戰後日本重建，公司介入風力&水力發電、 垃圾焚燒業務；（3）1980~2000年，介入半導體設備，1986年推出(chū)幹式真空泵設備， 1987年推出(chū)減排設備，1992年推出(chū)CPM設備；（4）2000年之(zhī)後，可持續增長階段， 緻力于(yú)能源節約産品與循環利用技術。

2016-2020年，公司精密器械部門的(de)收入從約7.8億美元上(shàng)升到(dào)13.2億美元，年複合 增長率約13.8%，同期營業利潤率從約12.5%下降到(dào)8.1%，根據公司2020年的(de)年報， 公司精密器械部門的(de)營業利潤率的(de)目标爲(wéi / wèi)12%。

精密器械部門的(de)收入拆分來(lái)看，（1）應用領域。2019年半導體收入占比90%，其他(tā) 占比10%。（2）産品和(hé / huò)服務角度。2019年服務收入占比34.7%，産品收入占比65.3%。

從海外龍頭的(de)發展曆史來(lái)看，我們可以(yǐ)得到(dào)以(yǐ)下啓示：

（1）企業發展曆史長，長期緻力于(yú)真空領域，産品系列齊全，技術壁壘較高，除去 真空泵之(zhī)外，還可以(yǐ)提供包括撿漏、真空計在(zài)内的(de)真空綜合解決方案。

（2）布局廣泛，除去真空領域之(zhī)外，利用泵領域的(de)通用知識，從事壓縮機、渦輪機 等通用制造業，極大(dà)的(de)發揮了(le／liǎo)技術的(de)共享作用。

（3）不(bù)斷兼并，在(zài)相似領域進行相關的(de)收購兼并，獲得相關技術并發揮協作作用。

五、國(guó)産化大(dà)幕已開啓，未來(lái)可期

國(guó)内企業在(zài)光伏領域已有較大(dà)突破，半導體領域逐步切入。根據漢鍾精機的(de)年報， 公司的(de)真空産品在(zài)光伏産業深耕多年，已經實現大(dà)批量供貨以(yǐ)及長時(shí)間可靠運行， 以(yǐ)優異的(de)性價比赢得了(le／liǎo)較大(dà)的(de)市場份額。根據中科儀的(de)招股說(shuō)明書，中科儀的(de)真空 産品已經被隆基、晶盛機電(39.780, -0.06, -0.15%)、平煤隆基等光伏客戶大(dà)批量采用，并且進入了(le／liǎo)長江存 儲、上(shàng)海積塔等半導體客戶。以(yǐ)漢鍾精機和(hé / huò)中科儀爲(wéi / wèi)代表的(de)國(guó)産真空泵企業，已在(zài) 光伏行業取得不(bù)錯成績，并且随着産品性能的(de)不(bù)斷進步以(yǐ)及光伏行業對降本的(de)不(bù)斷 追求，預計在(zài)光伏行業的(de)突破将繼續進行。半導體行業對真空泵的(de)要(yào / yāo)求更高，國(guó)産 真空泵需要(yào / yāo)較長的(de)時(shí)間進行技術探索和(hé / huò)驗證，但是(shì)國(guó)産化的(de)進程已經開始，預計将 逐步提高市場份額。

各家由于(yú)各自發展的(de)曆程不(bù)同，幹式泵的(de)布局亦有所不(bù)同。根據各家官網的(de)産品介 紹來(lái)看，Edwards作爲(wéi / wèi)真空領域絕對的(de)領先者，産品系列最全，各種結構的(de)真空泵均 有布局；Ebara以(yǐ)羅茨泵爲(wéi / wèi)主；Kashiyama以(yǐ)羅茨泵和(hé / huò)螺杆泵爲(wéi / wèi)主。反觀國(guó)内，漢鍾 精機作爲(wéi / wèi)螺杆泵的(de)龍頭，真空泵以(yǐ)螺杆式爲(wéi / wèi)主，旋片泵也(yě)有所布局；中科儀以(yǐ)渦旋 泵和(hé / huò)羅茨泵爲(wéi / wèi)主；中科科儀以(yǐ)分子(zǐ)泵、旋片泵爲(wéi / wèi)主。

羅茨泵、渦旋式、螺杆式均是(shì)幹式真空泵的(de)主流結構，均爲(wéi / wèi)變容式真空泵，根據中科 儀的(de)招股說(shuō)明書，

（1）羅茨幹泵内裝有兩個(gè)相反方向同步旋轉的(de)葉形轉子(zǐ)，轉子(zǐ)間、轉子(zǐ)與泵殼内壁 間有細小間隙而(ér)互不(bù)接觸的(de)一(yī / yì ／yí)種變容真空泵，主要(yào / yāo)的(de)真空度應用範圍是(shì)10 -3~105Pa；

（2）渦旋幹泵通過兩個(gè)渦旋盤的(de)轉動，在(zài)兩個(gè)渦旋盤之(zhī)間不(bù)斷産生周期性變化的(de)新月形狀小腔，達到(dào)壓縮氣體的(de)效果，主要(yào / yāo)的(de)真空度應用範圍是(shì)10 -1~105Pa；

（3）螺杆幹泵是(shì)利用一(yī / yì ／yí)對螺杆，在(zài)泵殼内做同步高速反向旋轉而(ér)産生的(de)吸氣和(hé / huò)排氣 達到(dào)壓縮氣體的(de)效果，主要(yào / yāo)的(de)真空度應用範圍是(shì)10 -2~105Pa。

從真空度的(de)應用範圍來(lái)看，羅茨幹泵最廣，螺杆幹泵次之(zhī)，最後是(shì)渦旋幹泵，三者主 要(yào / yāo)應用于(yú)粗真空（1.3×10-1~10 5Pa）與部分高真空（1.3×10-6~1.3×10-1Pa）領域，要(yào / yāo) 達到(dào)更高的(de)超高真空（1.3×10-10~1.3×10-6 Pa）需要(yào / yāo)疊加渦輪泵、分子(zǐ)泵等。

與幹式泵大(dà)多爲(wéi / wèi)變容真空泵不(bù)同，分子(zǐ)泵的(de)是(shì)一(yī / yì ／yí)種動量真空泵，是(shì)利用高速旋轉的(de) 轉子(zǐ)把動量傳輸給氣體分子(zǐ)，使之(zhī)獲得定向速度，從而(ér)被壓縮、被驅向排氣口後爲(wéi / wèi) 前級抽走的(de)一(yī / yì ／yí)種真空泵，主要(yào / yāo)用于(yú)實現高真空，應用領域與幹式真空泵有所差異。

（一(yī / yì ／yí)）漢鍾精機：螺杆泵龍頭，充分受益光伏與半導體的(de)擴産與國(guó)産化

公司主要(yào / yāo)産品有螺杆式制冷壓縮機和(hé / huò)螺杆式空氣壓縮機，經過多年的(de)發展，已成爲(wéi / wèi) 中國(guó)大(dà)陸頗有實力的(de)壓縮機生産廠家。按照産品分類，公司的(de)主要(yào / yāo)産品包括制冷産 品、空壓産品、真空産品、鑄件産品、零件及維修。2019年總收入18.07億元，其中 真空産品收入3.69億元，占總收入的(de)20.43%，根據公司的(de)業績快報，2020年營業收 入22.73億元，同比增加25.78%。

真空産品收入快速增長，毛利率維持高位。目前公司的(de)真空産品主要(yào / yāo)應用在(zài)光伏領 域。受益于(yú)光伏行業積極擴産，公司真空業務近幾年快速增長。2018年和(hé / huò)2019年真 空産品收入分别爲(wéi / wèi)2.73/3.69億元，同比增長18.2%/35.2%；2020年上(shàng)半年真空産品 收入1.92億元，同比增加86.5%，進入高速增長階段；近年真空産品的(de)毛利率穩定在(zài) 40%左右。20H1真空産品收入占總收入比重升至21.87%。

在(zài)半導體真空泵方面，根據2019年年報，2019 年公司幹式真空泵在(zài)國(guó)内半導體一(yī / yì ／yí) 線大(dà)廠及設備廠都已導入，産品符合業界需求，并可與歐、日國(guó)際真空泵大(dà)廠在(zài)産 品性能規格等方面競争。在(zài)半導體行業的(de)拉晶、LL、Etching、CVD、ALD、封裝、 測試等清潔或嚴苛制程公司真空泵都能使用。目前在(zài)台灣已有半導體産業公司在(zài)使 用公司真空泵，大(dà)陸市場已在(zài)積極開拓中，且已有廠商開始陸續下單。

漢鍾以(yǐ)螺旋式幹泵爲(wéi / wèi)主。根據公司21年3月的(de)投資者關系活動記錄，公司的(de)螺旋幹式 真空泵主要(yào / yāo)應用于(yú)光伏行業、半導體行業、新能源行業等，應用于(yú)光伏行業的(de)占比 最高，而(ér)其中又以(yǐ)光伏矽片的(de)拉晶環節以(yǐ)及電池片環節爲(wéi / wèi)主，在(zài)光伏行業已經赢得 了(le／liǎo)較大(dà)的(de)市場份額，主要(yào / yāo)客戶包括晶盛機電、隆基、捷佳偉創、晶科等。

漢鍾精機擁有半導體用幹式真空泵全系列産品。經過不(bù)斷地(dì / de)技術改善和(hé / huò)優化，目前 公司已有能滿足半導體最先進工藝的(de)全系列中真空幹式真空泵産品，公司産品真空 産品抽氣量達到(dào)80-7000m3 /h，可滿足各制程抽氣需求，并擁有SEMI 安全基準驗證 證書，根據公司年報，目前有以(yǐ)下三個(gè)系列運用在(zài)各半導體工藝中：

（1）PMF：體積超小，超高效節能機型，适用于(yú)Load Lock、TR、Metrology等幹淨 制程；（2）iPM：體積小、節能，适用于(yú)一(yī / yì ／yí)般嚴苛工藝腔，諸如PVD、Ashing、ETCH、 IPM 等工藝；（3）iPH：抗沾黏、腐蝕、熱氮氣系統、殼體溫度控制，适用于(yú)嚴苛 工藝腔，諸如CVD、ALD 等工藝。

（二）中科儀：國(guó)内渦旋泵龍頭，技術積累深厚

中國(guó)科學院沈陽科學儀器股份有限公司（後簡稱中科儀）是(shì)真空儀器設備制造企業， 主要(yào / yāo)業務包括真空科研設備、LED高端裝備設備（包括PECVD、晶體生長爐等）、 真空幹泵及技術服務。根據公司招股說(shuō)明書，公司在(zài)幹式真空泵領域具有近20年的(de) 産品研發和(hé / huò)生産經驗，承擔了(le／liǎo)“國(guó)家中長期科學和(hé / huò)技術發展規劃綱要(yào / yāo)（2006-2020）”、 “極大(dà)規模集成電路制造裝備及成套工藝”（“02專項”）、“高檔數控機床與基礎制造裝 備”（“04專項”）等國(guó)家科技重大(dà)專項，公司的(de)幹式真空泵産品已在(zài)中芯國(guó)際(47.600, 0.13, 0.27%)、長江 存儲、上(shàng)海華力、北方華創(232.600, 5.80, 2.56%)等集成電路制造企業及集成電路裝備制造企業通過工藝 驗證并批量應用，在(zài)光伏領域，公司幹式真空泵産品已被隆基股份(22.360, 0.13, 0.58%)、晶盛機電等龍 頭企業大(dà)批量采購使用。

當前中科儀的(de)真空幹泵業務正處于(yú)快速增長态勢。根據中科儀的(de)招股說(shuō)明書，2019 年公司銷售真空幹泵2546台，銷售收入1.57億元，同比增長97.8%，2020年前半年 銷售真空幹泵1795台，銷售收入1.24億元，延續高增長态勢。2019年公司真空幹泵 産能2400台/年左右，産能利用率126.70%，公司的(de)募投項目《幹式真空泵産業化建 設項目》，計劃投入7億元形成20040台/年的(de)生産能力，進一(yī / yì ／yí)步增強公司的(de)創收能力。

中科儀幹式真空泵主要(yào / yāo)爲(wéi / wèi)羅茨幹泵與渦旋幹泵。羅茨幹泵分爲(wéi / wèi)三大(dà)系列：L系列産品 主要(yào / yāo)應用于(yú)集成電路清潔工藝制程，如裝載、傳輸；M系列産品主要(yào / yāo)應用于(yú)集成電路中等工藝制程，如刻蝕；H系列産品主要(yào / yāo)應用于(yú)集成電路苛刻工藝制程，如CVD；渦 旋幹泵分爲(wéi / wèi)雙側無油式和(hé / huò)單側屏蔽式兩大(dà)系列。

中科儀幹式真空泵已被光伏與半導體頭部客戶采用，産品力獲認可。根據公司招股 說(shuō)明書，中科儀的(de)主要(yào / yāo)客戶包括隆基、晶盛機電等光伏行業制造/設備頭部客戶，以(yǐ) 及長江存儲、上(shàng)海積塔、北方華創等半導體行業制造/設備頭部客戶，來(lái)自半導體行 業的(de)收入估計在(zài)20%以(yǐ)上(shàng)，産品力獲得認可。

（三）中科科儀：緻力于(yú)分子(zǐ)泵、旋片泵，國(guó)家級高新技術企業

北京中科科儀股份有限公司（後簡稱中科科儀），前身爲(wéi / wèi)中國(guó)科學院北京科學儀器 研制中心（原中國(guó)科學院科學儀器廠），是(shì)中國(guó)科學院首家事業單位整體轉改制企 業。中科科儀曾經承擔了(le／liǎo)多個(gè)國(guó)家重要(yào / yāo)科研攻關項目，成功研制出(chū)我國(guó)第一(yī / yì ／yí)台掃描 電子(zǐ)顯微鏡、第一(yī / yì ／yí)台渦輪分子(zǐ)泵、第一(yī / yì ／yí)台商用氦質譜檢漏儀、第一(yī / yì ／yí)台磁懸浮分子(zǐ)泵 等，技術創新實力雄厚，被評爲(wéi / wèi)國(guó)家級企業技術中心，是(shì)國(guó)家首批通過的(de)國(guó)家級高 新技術企業。

公司主營業務是(shì)科學儀器設備及半導體等産業設備核心零部件産品的(de)研發、生産和(hé / huò) 銷售，主要(yào / yāo)真空泵産品是(shì)分子(zǐ)泵及旋片泵，真空儀器主要(yào / yāo)包括檢漏儀、充氣回收檢 漏系統、空間環境模拟系統、大(dà)科學真空配套及真空鍍膜設備等産品。

與一(yī / yì ／yí)般的(de)幹式泵不(bù)同，分子(zǐ)泵主要(yào / yāo)應用于(yú)高真空和(hé / huò)超高真空度範圍（約 10-8~10- 1Pa），幹式泵主要(yào / yāo)應用于(yú)低真空度範圍（約 10-3~105Pa）。幹式真空泵在(zài)大(dà)氣壓 強下獨立使用實現低真空，而(ér)分子(zǐ)泵的(de)正常工作需要(yào / yāo)一(yī / yì ／yí)定的(de)啓動壓強，其無法在(zài)大(dà) 氣壓強下直接工作，分子(zǐ)泵的(de)正常工作要(yào / yāo)求連接幹式真空泵等低真空泵種作爲(wéi / wèi)前級 預抽真空泵使用，分子(zǐ)泵作爲(wéi / wèi)二級泵使用。